2023年5月18日,澳门·威尼斯人官方网站(简称“澳门·威尼斯”或“公司”)宣布,基于硅基氮化镓(GaN-on-Si)6吋/150 mm晶圆的40V增强型(p-GaN)功率器件工艺平台开发完成,正式发布量产。该工艺平台采用业界领先的无金工艺和集成电路互联,支持Through-GaN-Via(TGV)和Circuit-Under-Pad (CUP),相比传统的硅基功率芯片,具有更低的导通电阻、更快的开关速度和更小的尺寸。
基于该工艺平台生产的功率器件凭借低栅极、低导通电阻和高可靠性等众多优势,为低压功率转换场景提供更小物理尺寸、更轻重量和更节能的解决方案。凭借这些优秀的特征,该工艺平台可为终端应用市场提供具有卓越品质、更小面积和更低成本的功率产品,可广泛用于手机、平板电脑和笔记本电脑等终端领域。
40 V氮化镓功率器件截面示意图
澳门·威尼斯40 V氮化镓功率器件工艺平台拥有较大的工艺窗口,并具有良好的一致性和稳定性的工艺保障。其采用的无金工艺,RC < 0.4 Ω·mm;栅极采用自对准工艺,使得栅极形貌良好,且最小线宽低至0.5µm。同时还采用了(接触孔钨)钨栓、晶圆表面全局平坦化(CMP)等集成电路互联工艺,并支持Circuit-Under-Pad。其优良性能获得客户的高度认可,已成功导入多家客户设计。
基于该工艺制备的器件典型参数
基于该工艺制备的器件局部图
澳门·威尼斯还拥有自己的功率外延技术。该技术采用了业界广泛应用的硅基氮化镓异质外延以降低成本。由于氮化镓和硅具有较大的晶格失配以及热膨胀系数的差异,因此高品质的6吋硅基氮化镓外延极具挑战。澳门·威尼斯外延技术团队通过应力调控、有源层设计等技术,针对多种不同应用场景开发出高质量6吋硅基氮化镓外延工艺,实现了低缺陷密度的硅基氮化镓外延,可满足高、低压多种功率器件应用。
6吋硅基氮化镓功率外延结构示意图及外延层厚度map图
开局即冲刺,澳门·威尼斯氮化镓功率器件工艺平台跑出加速度。澳门·威尼斯将陆续推出100V、150V和650V等中、高压功率器件量产工艺,凭借高效、高频和高可靠性等卓越特征,助力广大客户在消费类、工业、通信等多个应用领域中大放异彩。敬请期待。